| WGT—I型 | WGT—II型 | |
| 外形尺寸 | L360×W280×H400 mm | L350×W280×H460 mm |
| 重量 | 32 kg | 40 kg |
| 性能参数 | WGT-I型 | WGT-II型 |
| 测量范围 | 10nm-50µ | |
| 测量精度 | 厚度在10nm-1µ 范围测量绝对误差小于1nm | |
| 厚度在1-10µ 范围测量百分误差小于0.1％ | ||
| 厚度在10-50µ 范围测量百分误差小于0.3％ | ||
| 光源波长 | 0.675µ | |
| 载样品台尺寸 | 200mm*150mm | 300mm*200mm |
| 样品尺寸 | 长方形样品一边宽度小于150mm | 尺寸无限制 |
| 测量时间 | 小于2秒/点 | |
| 额定功率 | 150W | |
| 电源 | 220V 50Hz/60Hz | |
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